本發(fā)明公開(kāi)了一種微細(xì)電極端面自動(dòng)磨平裝置和方法，屬于微細(xì)加工領(lǐng)域，包括龍門(mén)架、底座、z軸高速/微動(dòng)電移臺(tái)、x軸微動(dòng)電移臺(tái)、直角支架、電極夾具、砂紙、柔性支架、支架座、滑軌、位移傳感器、應(yīng)變傳感器等；微細(xì)電極固定在電極夾具上，通過(guò)z軸高速/微動(dòng)電移臺(tái)和位移傳感器實(shí)現(xiàn)微細(xì)電極磨削的自動(dòng)對(duì)刀，電極與砂紙接觸后，利用柔性支架克服重力后的彈性張力提供電極的磨削力，通過(guò)x軸微動(dòng)電移臺(tái)控制電極在砂紙上沿x軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)微細(xì)電極端平面的微量、高精度自動(dòng)磨削加工；通過(guò)應(yīng)變傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)柔性支架應(yīng)變量進(jìn)而控制磨削力大小并實(shí)現(xiàn)電極磨削量的自動(dòng)補(bǔ)償。本發(fā)明解決了電化學(xué)腐蝕或在線磨削微細(xì)電極端面難以二次加工的難題。