本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種納米金顆粒修飾的偽MOS生化分子傳感器及其制備方法。本發(fā)明的偽MOS生化分子傳感器包括襯底、氧化埋層、溝道、納米金顆粒、生物分子或化學(xué)分子;襯底、氧化埋層和溝道共同組成偽MOS結(jié)構(gòu);納米金顆粒通過(guò)電子束蒸發(fā)鍍膜工藝修飾在偽MOS結(jié)構(gòu)溝道表面,作為偽MOS結(jié)構(gòu)溝道與生化分子或化學(xué)分子之間的“l(fā)inker”,從而更好地固載生化分子,提高生化分子傳感器的檢測(cè)性能。本發(fā)明生化分子傳感器可用于核酸、蛋白、酶等各種生物分子,以及無(wú)機(jī)小分子和有機(jī)小分子等的靈敏和超靈敏檢測(cè)。
聲明:
“納米金顆粒修飾的偽MOS生化分子傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)