本發(fā)明涉及一種固定環(huán)，用于化學(xué)機(jī)械拋光裝置中，化學(xué)機(jī)械拋光裝置包括拋光盤(pán)和拋光頭，拋光頭包括晶片載體和固定環(huán)，晶片載體用于夾持半導(dǎo)體晶片，拋光盤(pán)與晶片接觸并與拋光頭分別以相反的方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以拋光晶片，固定環(huán)包括：環(huán)形基體，設(shè)于晶片載體下方，環(huán)繞晶片側(cè)表面，用于固定晶片；至少一易斷導(dǎo)線，固定于環(huán)形基體表面，沿環(huán)形基體的周長(zhǎng)方向延伸并環(huán)繞一周；通斷狀態(tài)檢測(cè)裝置，其分別與各易斷導(dǎo)線連接，并在任一易斷導(dǎo)線斷裂時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)；信號(hào)處理裝置，與通斷狀態(tài)檢測(cè)裝置輸出端連接，將報(bào)警信號(hào)轉(zhuǎn)化為拋光停止信號(hào)，用于指示拋光頭和拋光盤(pán)停止旋轉(zhuǎn)。其可有效降低因固定環(huán)破裂給工藝帶來(lái)的損失，有利于提升晶圓制備工藝效率。