涉及在物理、電性、化學(xué)、光學(xué)特性中的一個或多個中具有5%或更小偏差的無源結(jié)構(gòu)的直接寫入的方法和裝置。本裝置可以延長淀積時間。本裝置可以配置為獨(dú)立操作,并使用傳感器和反饋環(huán)檢測系統(tǒng)的物理特性以確定并維持最佳工藝參數(shù)。
聲明:
“用于制造無源結(jié)構(gòu)的煙霧狀液體的空氣動力學(xué)噴射” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)