本發(fā)明是一種微機械往復(fù)膜片泵,特別是涉及生物化學(xué)微量分析用的微機械往復(fù)膜片泵。它采用壓電驅(qū)動器件作為動力源,使泵腔膜片產(chǎn)生振動,從而迫使泵腔往復(fù)地吸入、泵出流體;本發(fā)明采用慣性整流流道作為無運動件閥,使得沿一個方向的流動阻尼大于相反方向的流動阻尼;本發(fā)明采用慣性環(huán)行腔,進一步明顯增大兩個方向的阻尼差,有利于提高輸出泵壓,并減小由于輸出回流導(dǎo)致的流量輸出脈動。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單易實現(xiàn)、可以驅(qū)動含有較大顆粒流體、不破壞流體中的細(xì)胞或大分子、無死體積、相同體積液體流過泵腔的時間一致等優(yōu)點。本發(fā)明適用于在截面尺寸為幾十、幾百微米的微流道中驅(qū)動微小體積流體。
聲明:
“微機械往復(fù)膜片泵” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)