一種用于在微波等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(MPECVD)系統(tǒng)中使用的微波發(fā)生器系統(tǒng),微波發(fā)生器系統(tǒng)包括:微波發(fā)生器單元,被配置為以適合于經(jīng)由化學(xué)氣相沉積處理制造合成金剛石材料的操作功率輸出產(chǎn)生微波;故障檢測系統(tǒng),被配置為檢測微波發(fā)生器單元中導(dǎo)致操作功率輸出的減少或者頻率的改變的故障;以及重新啟動系統(tǒng),被配置為響應(yīng)檢測到故障而重新啟動微波發(fā)生器單元并且在微波發(fā)生器單元中導(dǎo)致操作功率輸出的減少或者頻率的改變的故障之后少于10秒的時間段內(nèi),恢復(fù)操作功率輸出或者頻率。
聲明:
“微波發(fā)生器以及合成金剛石材料的制造” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)