本發(fā)明公開了一種基于微機電干涉平臺的微型光譜儀，包括光路系統(tǒng)和電路系統(tǒng)；光路系統(tǒng)包括光源、兩個準直透鏡、樣品池、二向色鏡、分光鏡、全反射鏡、微機電干涉平臺、二向色鏡、濾光片及其兩個探測器；所述電路系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)處理模塊，數(shù)據(jù)處理模塊包括光電檢測、核心算法及光譜數(shù)據(jù)的處理；光源發(fā)出的光使樣品池中的樣品受到激發(fā)后發(fā)出樣品光，透過樣品池的光源經(jīng)過分光后一束作為參考光一束作為反饋光。三種光經(jīng)過一系列的作用后被送入電路系統(tǒng)，電路系統(tǒng)將采集的樣品光的光譜信息發(fā)送到光譜數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中，與光譜數(shù)據(jù)庫中已知的數(shù)據(jù)進行對比，以此來判斷未知物質(zhì)的化學組成。本發(fā)明可以方便的判斷出未知物質(zhì)的化學組成，并且低成本，精度高。
聲明：
“基于微機電干涉平臺的微型光譜儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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編輯：管理員
來源：中冶有色技術網(wǎng)
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2025年03月28日 ~ 30日 
