本發(fā)明公開了一種具有直流電極的薄膜體聲波諧振生化傳感器。包括直流電極、壓電薄膜堆棧、聲波反射層堆棧和化學(xué)敏感涂層。傳感器利用設(shè)置于化學(xué)敏感涂層兩側(cè)的直流電極測(cè)量需檢測(cè)物質(zhì)物與化學(xué)敏感涂層吸附或反應(yīng)后電阻的變化,同時(shí)在壓電薄膜堆棧的射頻上下電極之間施加射頻電信號(hào),激發(fā)壓電薄膜的體聲波諧振,測(cè)量需檢測(cè)物質(zhì)物與化學(xué)敏感涂層的頻率變化。由于傳感器同時(shí)提供電阻變化信息和頻率變化信息,因此可以利用電阻變化來(lái)分辨頻率變化相同的不同需檢測(cè)物質(zhì),提高了薄膜體聲波諧振生化傳感器對(duì)復(fù)雜多組分檢測(cè)物的識(shí)別能力。
聲明:
“具有直流電極的薄膜體聲波諧振生化傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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