本發(fā)明屬于薄膜器件制備技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種可低溫印刷氧化物絕緣薄膜的制備方法。將氧化物前驅(qū)體材料溶解于良溶劑中,取樣進行TG/DSC測試,選取揮發(fā)溫度、致密化溫度<200℃的墨水,然后進行粘度和張力測試,加入輔助溶劑,調(diào)節(jié)墨水粘度和張力,再通過TG/DSC測試確定退火溫度;通過紫外吸收曲線測試確定最大吸收波段;將所得墨水體系印刷成膜,在確定的退火溫度下進行熱退火處理,然后采用最大吸收波段的紫外光進行處理,得到氧化物絕緣薄膜。本發(fā)明通過一系列有效的測試分析,從物理化學的角度對前驅(qū)體、溶劑選擇以及后處理參數(shù)進行了篩選和優(yōu)化,獲得可低溫印刷氧化物絕緣薄膜,對大面積柔性電子設(shè)備的發(fā)展具有推動作用。
聲明:
“可低溫印刷氧化物絕緣薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)