本實(shí)用新型屬于分析化學(xué)設(shè)備領(lǐng)域。目的是提供一種可免拆卸清洗、便于養(yǎng)護(hù)的電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀。該光譜儀包括進(jìn)樣系統(tǒng)、光源系統(tǒng)、分光系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)；所述進(jìn)樣系統(tǒng)包括蠕動(dòng)泵、霧化器和霧化室。所述光源系統(tǒng)包括RF高頻發(fā)生器、等離子矩管和氣路系統(tǒng)。所述氣路系統(tǒng)包括多通閥和連接管道；所述連接管道包括多根進(jìn)口管和一根出口管，出口管與多通閥之間設(shè)有流量計(jì)；所述多根進(jìn)口管分別連有清洗液瓶和氬氣瓶，連接氬氣瓶的進(jìn)口管內(nèi)設(shè)有加熱絲。本實(shí)用新型通過(guò)利用和改造傳輸氬氣的氣路系統(tǒng)，使其具備輸送清洗液的功能，這樣使霧化器和等離子矩管得到及時(shí)的清洗和養(yǎng)護(hù)，可有效延長(zhǎng)其使用壽命，有利于節(jié)約檢測(cè)成本。