本發(fā)明公開了一種具有透明電極的InGaAs光電探測器,其中正面透明電極由
石墨烯構(gòu)成。石墨烯通過化學(xué)氣相沉積轉(zhuǎn)移法制備,置于InP帽層之上,作為環(huán)形正電極,取代傳統(tǒng)的金屬電極。石墨烯因其優(yōu)越的透光性能,在相同光敏臺面的情況下,可以大大提高器件的光譜響應(yīng)度和耦合效率。
聲明:
“具有透明電極的銦鎵砷光電探測器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)