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基于硅納米線陣列的自驅(qū)動肖特基結近紅外光電探測器及其制備方法

1060 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:29:09

本發(fā)明公開了一種基于硅納米線陣列的自驅(qū)動肖特基結近紅外光電探測器及其制備方法，其特征在于：是在硅基底的表面通過銀輔助的化學刻蝕法形成有硅納米線陣列；在硅納米線的外表面通過液相還原反應均勻包覆有金屬銅膜；金屬銅膜與硅納米線形成肖特基結；在硅基底的背面刷涂有In/Ga導電膠層，與硅基底形成歐姆接觸。本發(fā)明的肖特基結近紅外光電探測器，制備過程簡單易行，器件性能優(yōu)越。

聲明：

“基于硅納米線陣列的自驅(qū)動肖特基結近紅外光電探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)