本發(fā)明公開了一種低溫制備Ag電極測試BZT陶瓷的方法,先按BaZr
0.2Ti
0.8O
3的化學(xué)計(jì)量比,稱取原料BaCO
3、ZrO
2和TiO
2,于1350℃燒制成BZT陶瓷;將BZT陶瓷制品放入磁控濺射制品臺上,裝上金屬銀靶材,將磁控濺射系統(tǒng)的本底真空度抽至P<1.0×10
?3Pa,使用Ar作為濺射氣體,直流濺射電流為100~400mA,沉積時(shí)間為1500~7200s,在BZT陶瓷制品表面沉積得到厚度為1~4μm的Ag電極,再利用砂紙打磨Ag包覆層,即制得用于測試BZT陶瓷的Ag電極。本發(fā)明不需熱處理,低溫制備,且制備工藝簡單,具有良好的應(yīng)用前景。
聲明:
“低溫制備Ag電極測試BZT陶瓷的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)