本發(fā)明提供一種具有雙鐵電層復(fù)合薄膜的光電探測器制備方法,該方法包括:按照化學計量比配置鎳酸鑭底電極、BFMO和BLFO的前驅(qū)體溶液。隨后在洗凈的硅基片上經(jīng)過旋涂和熱處理按順序分別制備鎳酸鑭底電極、BLFO鐵電層和BFMO鐵電層并在頂層濺射上金電極,形成垂直的電極結(jié)構(gòu)及光電探測器。本發(fā)明還提供一種光電探測器。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)較高的光電探測性能。
聲明:
“具有雙鐵電層復(fù)合薄膜的光電探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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