本發(fā)明涉及光電探測器領(lǐng)域,具體為一種基于單壁
碳納米管薄膜的異質(zhì)結(jié)光電探測器的制備方法。首先利用浮動催化劑化學(xué)氣相沉積法制備出高性能、柔性單壁碳納米管薄膜,將沉積于微孔濾膜上的單壁碳納米管薄膜裁剪成合適尺寸;將其置于預(yù)先開設(shè)窗口的硅基底上表面,使單壁碳納米管薄膜與硅基底緊密接觸,并移去濾膜后,放置于空氣環(huán)境下熱處理,在窗口處制備一層數(shù)納米厚的誘導(dǎo)氧化層;然后制備上電極(銀膠)和下電極(銦鎵合金)即得所述光電探測器。本發(fā)明異質(zhì)結(jié)光電探測器結(jié)構(gòu)簡單,制備過程便捷,所構(gòu)建的光電探測器具有優(yōu)異的光電探測性能及穩(wěn)定性。
聲明:
“基于單壁碳納米管薄膜的異質(zhì)結(jié)光電探測器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)