本發(fā)明的高壓原位阻抗譜測(cè)量的電極及其制備方法和應(yīng)用屬于高壓條件下電學(xué)量原位測(cè)量的技術(shù)領(lǐng)域。電極組成有在金剛石壓砧(2)表面和金屬膜電極(1)上沉積的
氧化鋁保護(hù)層(3);金屬膜電極(1)在金剛石壓砧(2)的砧面中心呈圓形,在金剛石壓砧(2)的側(cè)面的金屬膜電極(1)部分粘接銅絲導(dǎo)線(5);金屬墊片(4)作另一個(gè)電極,與金屬膜電極(1)一起構(gòu)成軸對(duì)稱的電極體系。采用磁控濺射方法鍍鉬膜、沉積氧化鋁膜、光刻和化學(xué)腐蝕的方法制作電極。本發(fā)明解決了電極固定以及樣品腔絕緣等問(wèn)題,可以忽略體系的寄生電容和寄生電感對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,使得高壓下用金剛石對(duì)頂砧原位測(cè)量物質(zhì)阻抗譜成為可能。
聲明:
“高壓原位阻抗譜測(cè)量的電極及其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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