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自驅(qū)動式氧鋅鎂紫外探測器及其制備方法

909   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:28:46
本發(fā)明涉及一種自驅(qū)動式氧鋅鎂紫外探測器及其制備方法,屬于紫外探測技術(shù)領(lǐng)域,該制備方法包括:采用金屬有機化學氣相沉積法在襯底上制備氧鋅鎂薄膜層;在步驟一得到的氧鋅鎂薄膜層上通過真空熱蒸發(fā)的方法制備出Au電極層;通過濕法刻蝕所述Au膜層制備出多對叉指電極,即如圖所示連接有至少一個第一叉指電極的第一電極和連接有至少一個第二叉指電極的第二電極;所述第一叉指電極與所述第二叉指電極像張開的雙手一樣相互插在一起。本發(fā)明的自驅(qū)動式氧鋅鎂紫外探測器在紫外波段具有很好的光伏特性,可在不需要外加電源的情況工作,極大的節(jié)約了能源,且其0伏響應(yīng)度高,工作時穩(wěn)定性好,此外,器件制備工藝簡單,可控性好。
聲明:
“自驅(qū)動式氧鋅鎂紫外探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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