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用于實時感測工業(yè)制造設備中的屬性的裝置和方法

700 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:25:59

描述了用于實時感測工業(yè)制造設備中的屬性的裝置和方法。該感測系統(tǒng)包括：第一多個傳感器，其被安裝在半導體器件制造系統(tǒng)的處理環(huán)境內，其中，每個傳感器被指定給不同的區(qū)域以監(jiān)測該制造系統(tǒng)的指定區(qū)域的物理屬性或化學屬性；以及讀取器系統(tǒng)，其具有部件，該部件被配置成同時且無線地詢問多個傳感器。該讀取器系統(tǒng)使用單個高頻詢問序列，該單個高頻詢問序列包括：(1)向第一多個傳感器發(fā)送第一請求脈沖信號，該第一請求脈沖信號與第一頻帶相關聯，以及(2)從第一多個傳感器接收唯一可識別的響應信號，該響應信號提供對系統(tǒng)的每個指定區(qū)域處的物理屬性或化學屬性變化的實時監(jiān)測。

聲明：

“用于實時感測工業(yè)制造設備中的屬性的裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)