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具有全波長(zhǎng)的光探測(cè)器及其制備方法

1098   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:25:58
本發(fā)明涉及一種具有全波長(zhǎng)的光探測(cè)器及制備方法,該光探測(cè)器包括:一基底,在基底上生長(zhǎng)一層ZnO或La1-xSrxMnO3膜,再在ZnO或La1-xSrxMnO3膜上生長(zhǎng)一層La1-xSrxMnO3或ZnO膜形成異質(zhì)結(jié),ZnO/La1-xSrxMnO3異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)與基底一起構(gòu)成光探測(cè)器的芯片;所述的第一電極設(shè)置在ZnO膜上,第二電極設(shè)置在La1-xSrxMnO3膜上,第一電極引線和第二電極引線連接在電極上;所述的La1-xSrxMnO3,其中x為0.01-0.5。該器件采用常規(guī)分子束外延、脈沖激光淀積、化學(xué)氣相沉積、濺射、物理氣相沉積或超聲噴霧的方法和設(shè)備,在基底上進(jìn)行制備異質(zhì)結(jié)形成光探測(cè)器芯片。當(dāng)光照射探測(cè)器后直接產(chǎn)生電壓信號(hào),不需要任何輔助的電源和電子電路。其響應(yīng)波段從紫外到遠(yuǎn)紅外,光生電壓信號(hào)可達(dá)近百mV。
聲明:
“具有全波長(zhǎng)的光探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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