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具有集成溫度控制和溫度傳感器的多功能電位測量型氣體傳感器陣列

1048 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:25:58

本發(fā)明的實施方式涉及用于傳感一種或更多種氣體的氣體傳感器和方法。一種實施方式引入了保持在相似或者不同溫度下的傳感電極陣列,從而使得器件的敏感性和種類選擇性可以在不同的傳感電極對之間精確調(diào)諧。一種特定的實施方式涉及用于監(jiān)測燃燒廢氣和/或化學反應副產(chǎn)物的氣體傳感器陣列。關于本發(fā)明的器件的一種實施方式操作在高溫下,并能夠承受嚴酷化學環(huán)境。器件的實施方式制作在單一基底上。器件還能夠被制作在個體基底上,并被個別地監(jiān)測,就如同它們是單一基底上陣列的一部分一樣。器件能夠在相同的環(huán)境中引入傳感電極,這允許電極共平面,并且從而保持制作費用較低。通過表面溫度控制,器件的實施方式能夠提供敏感性、選擇性以及信號干擾的改善。

聲明：

“具有集成溫度控制和溫度傳感器的多功能電位測量型氣體傳感器陣列” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)