一種實(shí)時(shí)觀測(cè)納米顆粒運(yùn)動(dòng)的實(shí)驗(yàn)臺(tái),由定位系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)加載系統(tǒng)、觀測(cè)系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)四部分組成。定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)低精度的水平定位和高精度的垂直定位。運(yùn)動(dòng)加載系統(tǒng)可令拋光墊以設(shè)定的速度相對(duì)于固定的玻璃片旋轉(zhuǎn),并使拋光墊與玻璃片接觸擠壓,通過壓力傳感器測(cè)得壓力,壓力的大小由電控平移臺(tái)控制。觀測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)標(biāo)記和追蹤單個(gè)納米顆粒的位置和運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明可模擬實(shí)際化學(xué)機(jī)械拋光工況,確定納米顆粒的運(yùn)動(dòng)規(guī)律,為深入理解化學(xué)機(jī)械拋光中顆粒的作用提供直接證據(jù),具有靈敏度高、測(cè)量精度高、穩(wěn)定性高的特點(diǎn)。
聲明:
“實(shí)時(shí)觀測(cè)納米顆粒運(yùn)動(dòng)的實(shí)驗(yàn)臺(tái)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)