本發(fā)明公開(kāi)了一種納米器件電學(xué)測(cè)試用鎢探針的制備方法及制備裝置,該方法原理是通過(guò)
電化學(xué)腐蝕鎢絲獲得鎢探針,其中鎢絲作為陽(yáng)極并浸泡在電解液中,當(dāng)通過(guò)鎢絲的電流降低至20mA時(shí),開(kāi)始提升鎢絲;當(dāng)鎢絲被腐蝕斷開(kāi)的瞬間,反向電流使鎢絲作為陰極,并提升鎢絲離開(kāi)電解液,獲得鎢探針。通過(guò)本發(fā)明能制備大長(zhǎng)徑比的鎢探針;同時(shí)通過(guò)檢測(cè)鎢絲斷開(kāi)時(shí)的反向電流,即可預(yù)估鎢探針的尖端錐角,從而節(jié)省了傳統(tǒng)的后續(xù)需要電子掃描顯微鏡觀察確認(rèn)的時(shí)間和成本。
聲明:
“納米器件電學(xué)測(cè)試用鎢探針的制備方法及制備裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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