本發(fā)明公開一種煙氣SO₃在線監(jiān)測(cè)裝置及方法，微通道反應(yīng)器的煙氣入口連接采樣探頭，微通道反應(yīng)器的吸收液入口連接吸收液瓶和第一蠕動(dòng)泵，其中微通道反應(yīng)器可以提高對(duì)SO₃的吸收效率，并且可以提高SO₃測(cè)量精度；微通道反應(yīng)器的輸出端連接氣液分離倉(cāng)，氣液分離倉(cāng)輸出端設(shè)置硫酸根電極用于檢測(cè)，硫酸根電極測(cè)量吸收液內(nèi)硫酸根濃度，相比化學(xué)反應(yīng)再由吸光度測(cè)量硫酸根，響應(yīng)快，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，沒(méi)有光學(xué)法的零點(diǎn)漂移、受環(huán)境溫度影響等問(wèn)題，氣體流量檢測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)反應(yīng)后煙氣流量的監(jiān)控，根據(jù)能量守恒定律，本發(fā)明可以達(dá)到實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)煙氣中的SO₃。