一種氣體感測(cè)器及其制作方法,氣體感測(cè)器包含一基板、一加熱層、一絕緣層及多個(gè)排列的檢測(cè)單元,該加熱層設(shè)置于該基板上,該絕緣層設(shè)置于該加熱層上,該檢測(cè)單元設(shè)置于該絕緣層上,該檢測(cè)單元包括一檢測(cè)電極、一阻隔部以及一反應(yīng)感測(cè)膜,該阻隔部包括多個(gè)向上延伸的阻隔壁,該阻隔壁圍繞該檢測(cè)電極而形成一容置空間,該反應(yīng)感測(cè)膜設(shè)置于該阻隔部?jī)?nèi)的該容置空間并和該檢測(cè)電極接觸,當(dāng)該反應(yīng)感測(cè)膜和一待測(cè)氣體接觸時(shí)會(huì)進(jìn)行一
電化學(xué)反應(yīng),使該檢測(cè)電極產(chǎn)生一對(duì)應(yīng)該待測(cè)氣體的識(shí)別信號(hào)。
聲明:
“氣體感測(cè)器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)