本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體生長系統(tǒng),所述半導(dǎo)體生長系統(tǒng)包括室和電磁輻射源。設(shè)置檢測器以檢測由所述反應(yīng)室的氯化物類化學(xué)物質(zhì)對來自所述源的輻射的吸收??刂葡到y(tǒng)響應(yīng)于所述氯化物類化學(xué)物質(zhì)對輻射的吸收來控制對所述室的操作。所述控制系統(tǒng)通過調(diào)節(jié)所述反應(yīng)室的參數(shù)來控制所述室的操作。
聲明:
“基于紫外線吸收的監(jiān)測器和對氯化物氣流的控制” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)