提供用于增強(qiáng)控制、監(jiān)測和記錄電子裝置制造系統(tǒng)的引入化學(xué)物和功率使用以及排放的方法和設(shè)備。在一些實(shí)施例中，集成輔助生產(chǎn)層系統(tǒng)可以監(jiān)測輔助生產(chǎn)層裝備的能源使用。對(duì)于系統(tǒng)，工具可以進(jìn)入許多不同深度的能源節(jié)約模式中，例如空閑(淺層能源節(jié)約，其中生產(chǎn)裝備可以在數(shù)秒內(nèi)恢復(fù)至正常生產(chǎn)而不影響質(zhì)量或產(chǎn)量)、睡眠(深層能源節(jié)約，其中生產(chǎn)裝備可以在數(shù)分鐘內(nèi)恢復(fù))、或休眠(其中生產(chǎn)裝備會(huì)需要數(shù)小時(shí)來恢復(fù)，以不影響質(zhì)量或產(chǎn)量)。在一些實(shí)施例中，系統(tǒng)可以監(jiān)測并顯示在輔助生產(chǎn)層內(nèi)的所有氣體排放，以及Semi？S23方法報(bào)告CO2當(dāng)量排放。系統(tǒng)可以監(jiān)測來自處理工具和輔助生產(chǎn)層裝備的排出物處理氣體以及能源使用。