一種拋光墊及其監(jiān)測方法和監(jiān)測系統(tǒng),其中拋光墊包括:底層以及位于底層表面的拋光層;位于底層表面與拋光層同層的多個標示件,用于標示拋光層的消耗,標示件的材料與拋光層的材料相同。本發(fā)明通過設(shè)置在底層表面與拋光層同層的標示件表示拋光層的消耗情況。在進行化學機械研磨的過程中,獲取標示件的標示圖形,并通過比較標示圖形與臨界圖形判斷拋光層的消耗情況。在表示拋光層已磨損的標示件的數(shù)量達到預(yù)設(shè)值時,判斷拋光墊需更換。本發(fā)明通過對標示件的監(jiān)測實現(xiàn)了對拋光層消耗情況的監(jiān)測,實現(xiàn)了根據(jù)拋光墊的消耗情況決定是否需要更換拋光墊,從而提高了拋光墊使用壽命判斷的準確性,進而提高了晶圓拋光的質(zhì)量,提高了器件制造的良品率。
聲明:
“拋光墊及其監(jiān)測方法和監(jiān)測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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