一種鼠籠式氦質(zhì)譜檢漏儀的離子源,其中陽極5是由鉬片經(jīng)化學(xué)刻蝕后形成蜂窩狀的網(wǎng)格,成圓筒狀,陽極頂部與鎳環(huán)6焊接,陽極的底部與圓片3焊接,最后與陽極支架點(diǎn),其中網(wǎng)格絲的寬度是0.1MM,厚度為0.05MM,每個網(wǎng)格的距離1MM,陽極的外側(cè)還具有燈絲4,燈絲4成圓形,燈絲4是氧化釔銥金燈絲,燈絲直徑是0.08MM,繞制成圓形,圓周直徑是14MM。
聲明:
“鼠籠式氦質(zhì)譜真空檢漏儀離子源” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)