納米級(jí)高分辨應(yīng)力測(cè)量方法,涉及一種應(yīng)力測(cè)量方法,提供一種基于俄歇電子能譜儀,以電子作為測(cè)量的激發(fā)源,可獲得高空間分辨的應(yīng)力分布值的微區(qū)應(yīng)力測(cè)量方法。其步驟為確定元素分析和零應(yīng)力點(diǎn),用俄歇能譜確定樣品的化學(xué)元素成分和比例,并以樣品的1個(gè)本質(zhì)元素選擇一個(gè)零應(yīng)力點(diǎn)搜取其標(biāo)準(zhǔn)譜,作為應(yīng)力零點(diǎn)標(biāo)定;利用搜取的零應(yīng)力點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)譜確定擬合參數(shù)得優(yōu)化擬合理論俄歇譜;建立應(yīng)力標(biāo)定曲線后,根據(jù)確立的俄歇移動(dòng)和應(yīng)力的標(biāo)定曲線得微區(qū)應(yīng)力值。靈活性強(qiáng),可根據(jù)樣品需要建立特殊的模型進(jìn)行計(jì)算,也可建立所有化合物元素的應(yīng)力變化標(biāo)定曲線的數(shù)據(jù)庫(kù)。得到的空間分辨率和采用的俄歇電子能譜儀一致,可達(dá)到納米量級(jí)。