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適用于單晶硅拋光片目檢的暗室

995   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:22:39
本實用新型提供了一種適用于單晶硅拋光片目檢的暗室,包括室倉和除塵機構(gòu),室倉包括多個隔板和推拉門,隔板為沿豎直方向設(shè)置的矩形板,多個隔板合圍成上下開口的矩形筒體,隔板的上方還設(shè)有除塵機構(gòu);除塵機構(gòu)包括風機過濾單元、化學過濾器和離子棒,化學過濾器設(shè)置于室倉的頂部開口處,風機過濾單元和離子棒還分別固定于化學過濾器的兩側(cè),風機過濾單元設(shè)置于室倉的外部,離子棒設(shè)置于室倉的內(nèi)部;化學過濾器包括盒體和設(shè)置于盒體內(nèi)的活性炭,盒體的上下兩面還分別設(shè)有進風通孔和出風通孔,離子棒固定于出風通孔處。本實用新型保障了硅片不受到顆粒、AMC的污染,使目檢工作有效進行。
聲明:
“適用于單晶硅拋光片目檢的暗室” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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