涉及一種掃描隧道顯微鏡與掃描微電極聯(lián)用測(cè) 量系統(tǒng)及技術(shù)，由掃描隧道顯微鏡(STM)測(cè)量平臺(tái)，掃描微探 針及控制/驅(qū)動(dòng)單元；隧道電流信號(hào)和微區(qū)電位信號(hào)測(cè)量單元及 測(cè)量信號(hào)的控制和處理單元組成。利用掃描微探針同時(shí)檢測(cè)表 面隧道電流和表面電位分布，以壓電微掃描和步進(jìn)電機(jī)機(jī)械掃 描進(jìn)行掃描測(cè)量模式互換，并利用隧道電流作為掃描微電極到 達(dá)樣品表面的指示，實(shí)現(xiàn)了掃描微電極尖端與樣品表面距離的 定量控制，可顯著提高表面微區(qū)電化學(xué)腐蝕電位的分布測(cè)量的 空間分辨度。該系統(tǒng)可同時(shí)測(cè)量納米分辨度的表面形貌圖像和 表面微區(qū)電化學(xué)活性分布圖像，實(shí)現(xiàn)對(duì)表面形貌結(jié)構(gòu)—化學(xué)活 性的相互關(guān)聯(lián)研究。為多種表面空間分辨測(cè)量技術(shù)提供相互結(jié) 合、優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)、關(guān)聯(lián)研究的開放平臺(tái)。