本實(shí)用新型的特點(diǎn)在于提供一種應(yīng)用光譜儀來量測電漿氣體解離狀態(tài)的量測裝置。其原理主要藉由偵測管體內(nèi)之氣體解離狀態(tài),并藉由本裝置計(jì)算出解離相對量值,俾于氣體的主路徑污染值過高時(shí),由一第二路徑適量釋出被解離之反應(yīng)氣體,以排除該主路徑之污染物,從而使清潔該主路徑的作業(yè)更為快捷、確實(shí)。其中之主路徑及結(jié)合于該主路徑之第二路徑供容置反應(yīng)氣體,而該主路徑供業(yè)界在制造產(chǎn)品時(shí),進(jìn)行輔助沉積、薄膜蝕刻及改變材料表面等作業(yè),以達(dá)到特殊的功能及效果。
聲明:
“應(yīng)用光譜儀來量測電漿氣體解離狀態(tài)的量測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)