本發(fā)明提供一種雙頭質(zhì)量傳感器(25),其中在相應(yīng)側(cè)邊與一個(gè)第一膜片(21A)相連的一個(gè)第一連接片(22A)和與一個(gè)第二膜片(21B)相連的一個(gè)第二連接片(22B)之間,跨接有一個(gè)第一傳感片(41A),在該傳感片在至少一個(gè)平面表面上設(shè)置有一個(gè)主元件(44),由所說(shuō)膜片(21A)(21B)、所說(shuō)連接片(22A)(22B)、所說(shuō)第一傳感片(41A)和所說(shuō)主元件(44)構(gòu)成的一個(gè)諧振部分與一個(gè)傳感器基板(27)相連。通過(guò)測(cè)量由于膜片(21A)(21B)質(zhì)量變化引起的諧振部分諧振頻率的變化測(cè)得所說(shuō)膜片(21A)(21B)中每一個(gè)的質(zhì)量變化。本發(fā)明的質(zhì)量傳感器能夠容易而且高精度地測(cè)量毫微克量級(jí)的微小質(zhì)量,包括微生物如細(xì)菌和病毒、化學(xué)物質(zhì),以及測(cè)量蒸氣沉積膜的厚度。
聲明:
“雙頭質(zhì)量傳感器和質(zhì)量檢測(cè)方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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