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柔性襯底修補(bǔ)結(jié)構(gòu)、制造方法及檢測(cè)修補(bǔ)方法

931   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:20:07
本發(fā)明提供一種柔性襯底修補(bǔ)結(jié)構(gòu)、制造方法及檢測(cè)修補(bǔ)方法。柔性襯底修補(bǔ)結(jié)構(gòu)包括柔性襯底與至少一修補(bǔ)層。柔性襯底具有規(guī)則凹陷。至少一修補(bǔ)層位于柔性襯底上且填滿規(guī)則凹陷,其中至少一修補(bǔ)層的材料包括具有以下化學(xué)式(1)所示單元的聚硅氮烷化合物,其中Rx、Ry及Rz分別為氫原子或碳數(shù)為1~10的經(jīng)取代的烷基、未經(jīng)取代的烷基、烯基或芳香基。通過(guò)修補(bǔ)層的形成以避免或減少柔性襯底上的膜層產(chǎn)生裂紋或是斷裂等問(wèn)題。
聲明:
“柔性襯底修補(bǔ)結(jié)構(gòu)、制造方法及檢測(cè)修補(bǔ)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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