本發(fā)明公開(kāi)一種在線檢測(cè)拋光墊下方氣泡的方法,包括:將一拋光墊粘貼在一化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)臺(tái)的一基座上;進(jìn)行一拋光墊磨合制作工藝,利用一調(diào)節(jié)盤(pán)研磨所述拋光墊,其中所述調(diào)節(jié)盤(pán)耦合一墊高度感應(yīng)裝置;以及在所述拋光墊磨合制作工藝過(guò)程中,以所述墊高度感應(yīng)裝置監(jiān)測(cè)所述調(diào)節(jié)盤(pán)的高度變化,其中當(dāng)所述調(diào)節(jié)盤(pán)的高度變化超過(guò)一預(yù)定值,將所述拋光墊從所述基座上剝離,再另粘貼一拋光墊。
聲明:
“在線檢測(cè)拋光墊下方氣泡的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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