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適于生物分子檢測的芯片單元的制備方法

756 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:19:35

本發(fā)明公開了一種適于生物分子檢測的芯片單元的制備方法，包括襯底上淀積電熱絕緣材料和基底材料；光刻和干法刻蝕的方法制作圖形作為制備側墻的基底；淀積側墻材料；干法回刻形成高和寬均為納米尺寸的側墻；用濕法腐蝕的方法去側墻基底；光刻或電子束光刻+薄膜淀積+剝離工藝在側墻上搭上制作電極金屬層；薄膜淀積工藝制備絕緣材料層；化學機械拋光方法拋光表面同時切斷側墻兩旁的金屬連接；濕法腐蝕方法去除剩余的側墻材料形成納流體通道；晶片鍵合封頂，減薄封頂晶片；通道兩端開孔并在通道兩側的金屬上開孔引出電極即得。本發(fā)明能突破光刻分辨率限制及提高芯片單元與CMOS工藝的兼容性，并提高適于生物分子檢測的芯片單元的制備效率。

聲明：

“適于生物分子檢測的芯片單元的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)