本發(fā)明涉及一種用于制造包括至少一個(gè)熱檢測(cè)器(10)的電磁輻射檢測(cè)裝置(1)的方法,所述熱檢測(cè)器包括懸置在襯底(2)上方的吸收膜(11)并且旨在位于密封腔(3)中,所述方法包括以下步驟:?在襯底(2)上沉積包括具有吸氣效應(yīng)的金屬材料的、所謂吸氣金屬層(40);?在吸氣金屬層(40)上沉積非晶碳的所謂的碳質(zhì)犧牲層(50);?在碳質(zhì)犧牲層(50)上沉積至少一個(gè)犧牲礦物層(60A、60B);?使?fàn)奚V物層(60A)化學(xué)?機(jī)械平面化;?制造熱檢測(cè)器(10),使得吸收膜(11)在犧牲礦物層(60A)上被制造;?去除犧牲礦物層(60A、60B);?去除碳質(zhì)犧牲層(50)。
聲明:
“用于制造含吸氣材料層的用于檢測(cè)電磁輻射的裝置的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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