本申請(qǐng)公開(kāi)了一種壓阻式自檢測(cè)自激勵(lì)SECM探針，涉及掃描電化學(xué)顯微鏡領(lǐng)域，包括主體支撐結(jié)構(gòu)；與主體支撐結(jié)構(gòu)集成的懸臂梁；設(shè)于懸臂梁表面的針尖；覆蓋于針尖的金屬層，用于連接輸入端，并通過(guò)輸入端輸入的電壓或電流產(chǎn)生電熱作用，使懸臂梁發(fā)生形變，以使懸臂梁向待測(cè)樣品施加作用力；設(shè)于主體支撐結(jié)構(gòu)上表面的惠斯通電橋，用于當(dāng)懸臂梁向待測(cè)樣品施加作用力時(shí)，輸出與作用力對(duì)應(yīng)的檢測(cè)信號(hào)。本申請(qǐng)針尖上的金屬層在電熱作用下使懸臂梁產(chǎn)生彎曲形變，從而向待測(cè)樣品施加作用力，實(shí)現(xiàn)自激勵(lì)；當(dāng)懸臂梁產(chǎn)生彎曲形變，惠斯通電橋中可變電阻的阻值發(fā)生變化，輸出檢測(cè)信號(hào)，實(shí)現(xiàn)壓阻自檢測(cè)，不需設(shè)置四象限探測(cè)器和激光器，簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)和操作難度。