本發(fā)明涉及一種納米鍍膜工藝的集成式在線檢測方法,將各在線檢測設(shè)備通過不同的組合方式集成為滿足不同測試需求的在線檢測裝置,對納米鍍膜工藝氣相沉積反應(yīng)過程中的輸入量、輸入組分、輸出量和輸出組分進行實時檢測,通過定量輸出裝置的設(shè)置,對反應(yīng)物混合氣的質(zhì)量和組分比例進行定量控制,采用橢偏儀、紅外
檢測儀、石英晶體微天平以及質(zhì)譜儀對納米薄膜的厚度、質(zhì)量、組分和反應(yīng)后氣體(或中間產(chǎn)物)的組分進行檢測,從而獲得納米薄膜生長量、生長厚度以及反應(yīng)后氣體(或中間產(chǎn)物)的組分與定量輸入的反應(yīng)物混合氣質(zhì)量的關(guān)系,為進一步探索納米鍍膜工藝化學(xué)反應(yīng)和物質(zhì)交換的定量規(guī)律提供數(shù)據(jù)支撐。
聲明:
“納米鍍膜工藝的集成式在線檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)