本發(fā)明公開(kāi)了一種懸臂梁微量檢測(cè)傳感器及其制備方法。該傳感器是將經(jīng)過(guò)重金屬擴(kuò)散或者伽馬射線(xiàn)輻照處理過(guò)的金屬-硅肖特基二極管嵌入硅懸臂梁適當(dāng)位置的表面,用以將力學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號(hào)。在懸臂梁的一個(gè)表面淀積薄的貴金屬層,在該金屬層上通過(guò)自主裝的方法生長(zhǎng)上具有特異性吸附能力的單分子敏感層。被檢測(cè)化學(xué)物質(zhì)與敏感層分子結(jié)合時(shí)在懸臂梁上下表面產(chǎn)生表面應(yīng)力差,致使懸臂梁發(fā)生彎曲,從而在懸臂梁根部產(chǎn)生集中的彎曲應(yīng)力,該應(yīng)力由嵌入懸臂梁表面的肖特基二極管檢測(cè)。本發(fā)明提供的傳感器,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作簡(jiǎn)便、靈敏度高、分辨率高,可應(yīng)用于力傳感器和掃描探針等,在環(huán)境檢測(cè)、食品安全、航天軍事等領(lǐng)域有重要應(yīng)用。