本發(fā)明提供一種包含拋光層(10)的化學(xué)機(jī)械拋光墊,該拋光層(10)包含疏水區(qū)(30)、親水區(qū)(40)及終點(diǎn)檢測(cè)口(20)。該疏水區(qū)實(shí)質(zhì)上與該終點(diǎn)檢測(cè)口(80)相鄰。該疏水區(qū)(30)包含具有表面能為34MN/M或更小的聚合材料及具有表面能超過(guò)34MN/M的聚合材料。本發(fā)明進(jìn)一步提供一種拋光基材的方法,包括使用該拋光墊。
聲明:
“包含疏水區(qū)及終點(diǎn)檢測(cè)口的拋光墊” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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