本發(fā)明揭示了一種利用現(xiàn)有的
電化學拋光設備對晶圓夾盤的傾斜度進行檢測的晶圓夾盤傾斜度的檢測方法,包括如下步驟:分別測量晶圓中心點(O點)以及晶圓上其他兩點(A點與B點)與噴頭噴射出的拋光液的液面之間的高度值Ho,Ha,Hb,其中該其他兩點(A點和B點)的連線不經(jīng)過晶圓中心點(O點);計算Ha與Ho之間的差值,以及Hb與Ho之間的差值;結合A點與O點之間的水平距離La以及B點與O點之間的水平距離Lb,計算晶圓上A點與O點所在的直線與水平面之間的傾斜度為arctan((Ha-Ho)/La),B點與O點所在的直線與水平面之間的傾斜度為arctan((Hb-Ho)/Lb)。
聲明:
“晶圓夾盤傾斜度的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)