公開了由包含以下項(xiàng)的反應(yīng)混合物的聚氨酯反應(yīng)產(chǎn)物制成的CMP拋光墊或?qū)樱?i)液體芳族異氰酸酯組分,其包含一種或多種芳族二異氰酸酯或線型芳族異氰酸酯封端的氨基甲酸酯預(yù)聚物,和(ii)液體多元醇組分,其包含a)一種或多種聚合物多元醇,b)基于該液體多元醇組分的總重量,12至40wt.%的具有2至9個碳原子的一種或多種小鏈雙官能多元醇、液體芳族二胺的固化劑混合物,其中該液體多元醇、小鏈雙官能多元醇和液體芳族二胺中羥基和氨基部分的總摩爾數(shù)與該芳族二異氰酸酯或線型芳族異氰酸酯封端的氨基甲酸酯預(yù)聚物中異氰酸酯的摩爾數(shù)的摩爾比是1.0∶1.0至1.15∶1.0。該拋光層能夠在通過表面調(diào)節(jié)盤處理時形成如通過由ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)定義的參數(shù)Sdr測量的0至0.4的總紋理深度。
聲明:
“用于化學(xué)機(jī)械拋光墊的配制品及用其制成的CMP墊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)