本發(fā)明提供一種晶圓中金屬雜質(zhì)的檢測方法,包括:將晶圓進(jìn)行中溫?zé)崽幚?,加熱?50℃~550℃溫度范圍內(nèi),保持第一預(yù)設(shè)時(shí)間;將中溫?zé)崽幚砗蟮木A降溫至低溫并進(jìn)行低溫?zé)崽幚?,低溫?zé)崽幚戆ǎ涸?00℃~300℃溫度范圍內(nèi),保持第二預(yù)設(shè)時(shí)間;將低溫?zé)崽幚砗蟮木A降溫至室溫;將化學(xué)氣相分解液滴在室溫下的晶圓表面收集金屬雜質(zhì);將包含金屬雜質(zhì)的化學(xué)氣相分解液霧化后進(jìn)行電感耦合等離子體質(zhì)譜光譜分析,計(jì)算得到各種金屬雜質(zhì)的含量。本發(fā)明采用先中溫?zé)崽幚?,不直接降溫到室溫,而是降溫至低溫并進(jìn)行低溫?zé)崽幚淼拇?lián)熱工藝,兼顧了晶圓中不同的金屬雜質(zhì)擴(kuò)散到晶圓表面并進(jìn)行檢測,耗時(shí)減少,提升了效率。
聲明:
“晶圓中金屬雜質(zhì)的檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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