在真空處理室中,提供用于監(jiān)測(cè)何時(shí)足以由靜電夾盤釋放襯底以便允許通過傳送機(jī)構(gòu)諸如銷提升器安全移動(dòng)的監(jiān)測(cè)設(shè)備。該監(jiān)測(cè)設(shè)備包括以襯底的諧振頻率輸出聲波的聲學(xué)發(fā)生器,并且當(dāng)由襯底吸收聲波時(shí)檢測(cè)釋放狀態(tài)。在晶片的處理諸如等離子體蝕刻或化學(xué)氣相淀積期間使用該設(shè)備。
聲明:
“釋放的聲學(xué)探測(cè)及其裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)