本發(fā)明涉及分析化學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,且公開了鹽酸和三
氯化鐵系ITO蝕刻液組成的檢測方法,包括以下步驟:S1、鹽酸含量測定:S11、以有弱堿為介質(zhì),無水短鏈醇為溶劑,配制濃度為0.5?1.0mol/L的有機堿?醇溶液為滴定劑;S12、將滴定劑配制完成后震蕩混勻20min,靜置12h后再震蕩充分混勻;本發(fā)明對鹽酸和三氯化鐵系ITO蝕刻液中兩種主組分分別定量,主組分中的鹽酸和三氯化鐵檢測分別采用非水溶劑的動態(tài)DET?U滴定方法及電感耦合等離子發(fā)射光譜(ICP?OES)方法進行定量,能夠精確地測量出ITO蝕刻液中鹽酸的含量,可以滿足ITO蝕刻液在線實時取樣的滴定分析,檢測速度快,一步完成,無前處理,能實時反饋鹽酸濃度,能夠滿足在線檢測和控制要求。
聲明:
“鹽酸和三氯化鐵系ITO蝕刻液組成的檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)