本發(fā)明涉及一種基于電子動(dòng)態(tài)調(diào)控和化學(xué)輔助刻蝕的橢圓微透鏡加工方法,屬于功能性表面應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。包括以下步驟:調(diào)整飛秒激光系統(tǒng)的光路,確保激光能夠垂直入射到水平放置的待加工材料表面;將狹縫放置在光路經(jīng)過(guò)處,調(diào)整狹縫的位置,將狹縫寬度調(diào)節(jié)至所需大小,確保激光垂直通過(guò)狹縫中心;借助成像CCD和照明白光源進(jìn)行成像,觀測(cè)加工材料表面形貌及加工過(guò)程,配合機(jī)械開(kāi)關(guān)的通斷,在待加工材料表面進(jìn)行指定區(qū)域、指定間隔的加工;將帶有橢圓改性區(qū)域的樣品浸入一定濃度的刻蝕溶液中刻蝕。對(duì)比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明為橢圓微透鏡的高效、高質(zhì)量制備提供了一種簡(jiǎn)單、可控、高效的加工方法。
聲明:
“基于電子動(dòng)態(tài)調(diào)控和化學(xué)輔助刻蝕的橢圓微透鏡加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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