本發(fā)明公開了一種電致化學(xué)拋光裝置及其工作方法，所述的裝置包括隔振光學(xué)平臺、線型滑臺、電極系統(tǒng)、基準(zhǔn)平晶、真空陶瓷吸盤、調(diào)平基板、微分測頭和壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)臺。本發(fā)明采用粗調(diào)和精調(diào)相結(jié)合，調(diào)平精度高、范圍大，可以對不同厚度的材料進行拋光；本發(fā)明使用柔性波紋管傳遞扭矩，降低了由于電極轉(zhuǎn)動受力不均對下方液膜厚度均一性造成的影響，此外，柔性波紋管還可以減緩與減速電機和線型滑臺相連的保持架上裝配結(jié)構(gòu)引起的振動對下端電極的影響，可以顯著提高拋光工件的質(zhì)量；本發(fā)明采用直線軸承和導(dǎo)向軸代替?zhèn)鹘y(tǒng)技術(shù)中的撥叉結(jié)構(gòu)，可以極大地減小電極系統(tǒng)與其他部件的摩擦力，避免了電極在轉(zhuǎn)動過程中導(dǎo)致貴重電極與工件劃擦而損壞的技術(shù)難題。