亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 化學(xué)機械拋光多區(qū)壓力在線控制算法

化學(xué)機械拋光多區(qū)壓力在線控制算法

657   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:03:19
本發(fā)明提出一種化學(xué)機械拋光多區(qū)壓力在線控制算法,包括以下步驟:分別獲取拋光頭的各壓力分區(qū)的零點偏移量;根據(jù)拋光頭的各壓力分區(qū)的零點偏移量,分別對CMP拋光頭系統(tǒng)的各路氣壓傳感器的測量值進行修正,并將修正后的測量值作為各路氣壓傳感器的最終輸出值;計算各路氣壓傳感器的最終輸出值與對應(yīng)壓力分區(qū)的預(yù)設(shè)壓力值之間的偏差量;根據(jù)偏差量實時計算CMP拋光頭系統(tǒng)的相應(yīng)電氣比例閥的控制量;根據(jù)控制量對相應(yīng)電氣比例閥的開度進行控制。本發(fā)明的控制算法簡便有效,方便調(diào)節(jié),同時具有較強的適應(yīng)能力。
聲明:
“化學(xué)機械拋光多區(qū)壓力在線控制算法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記