本發(fā)明提出一種化學(xué)機械拋光多區(qū)壓力在線控制算法,包括以下步驟:分別獲取拋光頭的各壓力分區(qū)的零點偏移量;根據(jù)拋光頭的各壓力分區(qū)的零點偏移量,分別對CMP拋光頭系統(tǒng)的各路氣壓傳感器的測量值進行修正,并將修正后的測量值作為各路氣壓傳感器的最終輸出值;計算各路氣壓傳感器的最終輸出值與對應(yīng)壓力分區(qū)的預(yù)設(shè)壓力值之間的偏差量;根據(jù)偏差量實時計算CMP拋光頭系統(tǒng)的相應(yīng)電氣比例閥的控制量;根據(jù)控制量對相應(yīng)電氣比例閥的開度進行控制。本發(fā)明的控制算法簡便有效,方便調(diào)節(jié),同時具有較強的適應(yīng)能力。
聲明:
“化學(xué)機械拋光多區(qū)壓力在線控制算法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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