本實用新型涉及金剛石膜生長領(lǐng)域,尤其涉及一種多功能金剛石薄膜的熱絲化學(xué)氣相沉積裝置。該裝置主要包括:絕緣層一、導(dǎo)電層一、內(nèi)孔工件、氣體噴淋頭、熱絲一、氣體噴淋環(huán)、熱絲二、基片、導(dǎo)電層二、絕緣層二、反應(yīng)腔體、外部氣源、直流加熱電源二、直流加熱電源一、偏壓電源一、偏壓電源二、調(diào)速電機(jī)、抽真空系統(tǒng)、水冷樣品臺二、水冷樣品臺一、真空測控系統(tǒng)等。本實用新型既可以實現(xiàn)在工件內(nèi)孔快速、均勻沉積金剛石薄膜,又可以實現(xiàn)在大面積基片上快速、均勻沉積金剛石薄膜,沉積時反應(yīng)氣體消耗量低,沉積過程中能測控?zé)峤z的溫度、工件表面的溫度和反應(yīng)腔內(nèi)的壓強(qiáng),能準(zhǔn)確控制金剛石薄膜沉積各項主要工藝參數(shù),工藝重復(fù)性好。
聲明:
“多功能金剛石薄膜的熱絲化學(xué)氣相沉積裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)